实验型氧化亚硅设备适配实验室小批量研发，集成真空加热、研磨分散、冷凝收集核心模块，支持多温区精准控温与高真空环境作业，温控精度高、粒度调节灵活，可完成氧化亚硅制备全流程实验，满足材料配方优化、工艺参数调试需求。